1965年,国内科学院就研制出65型接触式光刻机。荷兰ASML公司还没成立,直到1970年荷兰ASML公司才初具雏形,1980年,清华大学研制出第四代分布式投影光刻机,精度高达3微米,已经接近国际主流水平,仅次于美国。6park.com贴主:bell2020于2025_03_21 8:46:20编辑贴主:bell2020于2025_03_21 8:52:37编辑
贴主:bell2020于2025_03_21 8:53:04编辑
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